超聲波檢漏儀儀器的響應時間也是鹵素檢漏儀的主要技術指標之一，它是反應時間與清除時間的總稱。

檢漏時，當鹵素氣體缸探及漏孔處，即使不考慮鹵素氣體通過漏孔的時間，也不可能立即引起傳感器的“鹵素效應”，也就是說不會立即引起輸出電流的急劇變化，需要一個過程。

反應時間是從鹵素氣體進入檢漏儀起到輸出儀表的變動達到其最大值的63%時為止所需要的時間，它同漏量無關，同傳感器的體積對鹵素的吸入速度有關。

儀器反應時間之所以重要，超聲波檢漏儀因為它決定了檢漏速度，因為檢漏時，吸槍子啊漏孔處U幣徐停留的時間應為儀器反應時間的三倍（此時輸出信號為最大信號的95%），小于這個使勁，儀器靈敏度未能得到發揮，大于這個時間，輸出信號充其量提高5%，而檢漏效率卻大大降低，實在沒有必要。

儀器的清除時間，亦即停止吸氣后檢漏儀將抽除吸入的鹵素氣體。當輸出信號降低到最大信號的37%所需的時間即為清除時間，超聲波檢漏儀數值上和反應時間相等，清除時間決定了兩次吸氣的間隔時間，它和反應時間一樣直接影響檢漏工作的進展速度。

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