超聲波檢漏儀目前質譜檢漏多數采用以低壓高速蒸氣流作為工作介質（油）的氣體運量傳輸泵---油擴散泵。它是氦質譜檢漏儀獲得高真空的主要設備，其主要特點是抽氣能力大，抽速范圍寬，對所抽氣體（包括惰性氣體）無選擇，結構簡單，沒有機械運動部分，操作簡單，便于維護，壽命長，因擴散泵油的冷卻方式不同，可分兩種型式，超聲波檢漏儀即風冷與水冷，在氦質譜檢儀中多數使用“風冷式油擴散泵”。油擴散泵使用時氦必須配簽好字真空泵。

油擴散泵的工作過程是當油鍋中的泵油子啊真空中被加熱到沸騰溫度（約200℃）時，產生大量地油蒸汽，經導管由各級噴嘴定向高速噴出。由于進氣口的附近（和一級噴嘴上方）被抽氣體的分壓力高于蒸汽流中的被抽氣體的分壓力，所以，被抽氣體分子就不斷地擴散到蒸汽流中，這時被抽氣氣體和油蒸氣產生碰撞，使被抽氣體接近蒸汽流動速度被帶回泵壁上被冷凝后又返回到油鍋中被重新加熱，如此循環工作。由于工作原理使擴散泵工作必須預熱20~45min，停止時冷卻20~45min，它在檢漏工作中帶來不少麻煩。超聲波檢漏儀目前用渦輪分子泵來代替一般氦質譜檢漏儀中的擴散泵，其優點是：

（1）在質譜室中無碳氫化和物的污染

（2）將儀器的啟動與停止時間減至最小

（3）由于渦輪分子泵不變的氦壓縮比，可得到很穩定的漏率指示。

（4）可以在任意位置安裝，這樣可以采用節省空間的安裝方式.

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