被檢容器容積較小時，超聲波檢漏儀可以直接接到質譜檢漏儀上去進行檢漏。但是當被檢容器的容積在100m以上時，由于容積大，氣量多，表面積大，放氣多，漏孔也可能較多，超聲波檢漏儀若直接用質譜檢漏儀的抽氣系統來抽，可能長時間也抽不上去，使得檢漏儀無法工作。即使長時間抽氣后能達到質譜儀工作壓力，然后其反應時間太長，也難以實現檢漏。因此需要加一個輔助系統，檢漏時，先用輔助泵將被檢容器抽到低真空后再用次級泵（擴散泵）抽，超聲波檢漏儀次級泵正常工作后，打開檢漏儀的節流閥，使被檢容器通過輔助系統與已抽至極限真空的檢漏儀相連，此時檢漏儀抽氣系統與輔助泵一起作次級泵的前級，調節節流閥使檢漏儀處于工作壓力下然后進行檢漏。檢漏時，如節流閥能全部打開且輔助閥能全部關閉最后，此時漏入系統的氦氣能全部通過檢漏儀，其靈敏度最高，一般情況都是輔助閥即不能全關，節流閥也不能完全打開，因此靈敏度要低很多。

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