與加壓高溫氟油檢漏相比，超聲波檢漏儀電子元器件檢漏時不需要被加熱時其優點。在氟油檢漏時，由于檢測過程溫差變化大，受檢元器件易產生新的缺陷。比如在高溫下會造成元器件的玻璃、陶瓷燈部位的細小裂隙擴大，進而使漏率變大，使原來細檢合格的產品變成不合格的產品。由于這種缺陷是在檢驗過程中新產生，只要不冒泡，粗檢仍為合格，超聲波檢漏儀檢驗后仍按合格產品交付使用，勢必造成裝機使用后存在隱患。

試驗后，試驗樣品內腔壓力降低，在大氣壓力作用下，沾附在試驗樣品表面的試驗液有可能通過漏孔進入試驗樣品，對試驗樣品產生不利的影響，是這種檢漏方法的缺點。無水乙醇經常被用作抽真空氣泡檢漏的試驗液，雖說無水乙醇的含水量極低，但是它在空氣中卻是極好的吸水劑超聲波檢漏儀。電子元器件內腔大都是水汽含量要求高，如果無水乙醇的含水量較高，進入電子元器件內腔，就會使水汽含量增多，質量下降。所以在許多國軍標中都不適用無水乙醇作檢漏的檢驗液。為了避免這一影響，建議采用F113作抽真空氣泡檢漏的試驗液。

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