動平衡儀油擴散泵的主要部件有泵體、冷卻裝置、噴嘴、蒸氣流導管和加熱器等。
擴按泵油鍋中的泵油在真空中加熱到沸騰溫度發生大量的油蒸氣，動平衡儀油蒸氣經導流管由各級噴嘴定向高速噴出。由于泵進氣口附近被抽氣體的分壓力高于蒸氣流中該氣體的分壓力，所以被抽氣體分子就不斷的擴散到蒸氣流中。油蒸氣撞擊被抽氣體分子，使被抽氣體分子沿蒸氣流束的方向高速運動，氣體分子碰撞泵壁又反射回來再受到蒸氣流的碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。動平衡儀經過幾次碰撞后，氣體分子被壓縮到低真空端，再由下幾級噴嘴噴出的真氣流進行多級壓縮，最后由前級真空泵抽走。而油蒸氣在冷卻的泵壁上唄冷凝后又返回到油鍋中重新被加熱，如此循環工作。

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