電氣部分
1離子源電源：為離子源提供加速、聚焦、拒斥和接收極抑制電壓。
2發射電流穩定電路：穩定和調節發射電流。
3離子流放大器和音響報警器：將輸出信號送入顯示器和音響報警器，同時指示出信號的大小。
4真空丈量電路：一般用熱阻真空計丈量低真空動平衡儀，用冷陰極真空計丈量高真空。
5燈絲保護電路：當質譜室正常工作壓力被破壞后，立即切斷燈絲供電回路，以保護燈絲。
6其他電路：振動分析儀不同型號的檢漏儀所具有的功能也不盡相同，所以電路也有不少差別，這在各自說明書中都有說明。

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