渦輪分子泵的使用與維護(hù)
其傾斜不超過(guò)5°；
1泵應(yīng)水平安置。>
2注意泵的轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)防線要正確；
3運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)先接通冷卻水，停泵后及時(shí)關(guān)閉冷卻水；
4經(jīng)常檢查泵潤(rùn)滑測(cè)振儀油的油量和油質(zhì)，定期補(bǔ)油和換油；
5粗抽泵預(yù)抽到一定預(yù)真空度后才干啟動(dòng)分子泵；
6運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中，不允許流露大氣，不允許異物落入泵內(nèi)；
7為防止頻繁地開(kāi)機(jī)動(dòng)平衡儀、關(guān)機(jī)對(duì)分子泵軸承壽命的影響，等待狀態(tài)分子泵應(yīng)低速運(yùn)轉(zhuǎn)；
8需要對(duì)泵體進(jìn)行烘烤時(shí)，其溫度不超過(guò)100℃
9分子泵停機(jī)后，當(dāng)轉(zhuǎn)速不低于工作轉(zhuǎn)速的1/2之前應(yīng)向分子泵中放氣。

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