真空抽不好的原因
這可能是由于泵油過多或過少，
1抽氣情況不量。即抽氣系統(tǒng)自身存在問題。比方：擴散泵工作不正常。泵加熱功率不合適，泵油氧化或太臟，泵冷卻效果不良，機械泵油太臟或含水量高，內部超聲波檢漏儀零件磨損或劃傷，反擴散增大等原因造成的
2放氣。真空系統(tǒng)或容測振儀器內部存在氣體或蒸汽源。主要是真空清潔處置不良，資料選擇不當或設計有死空間等原因引起的
3漏氣。主要由于焊接加工或安裝不良，低溫下密封圈是去彈性或壓縮量不足，不清潔等原因造成的

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